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TEGウェハ開発・試作

実装評価用TEGウェハの設計・試作をマスクレスにより、1枚から対応いたします。

TEGウェハ試作例

  1. フリップチップボンディング評価用TEGウェハ
    Cuピラー・はんだ・Auスタッド等各種バンプに対応
    フリップチップボンディング評価用TEGウェハ
  2. 耐湿評価用櫛歯TEGウェハ
    マスクレス露光によるファインピッチパターンに対応
    L/S=5μm/5μm櫛歯パターン マスクレス露光装置
  3. 各種ウェハ加工
    • バックグラインド(45μm~)・ダイシング(0.1mm□~)
    • DAF貼り付け加工(DAF厚:10μm~)
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